???
?? ???, ?? ??, RDL, ?? ? ?? ???? ?? ?? ?? ??
??? ??
- ?? ??? ?? ?? ? ?? ???
- ??? ?? ???? ?? RDL, ??, ?? ? ???
??????? ?? ?? - ?? ??? ? RDL ????(?: ?? ??? ??????) ??? ?? ??
- ?? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ?? ???
- ??? ??? ?? ??
??????
- ?? ? ? ???? ENEPIG? ?? ?? ???
- FOWLP ? FC-CSP? RDL, ?-??, ?? ??
- ?? ? 3D ???? ?-via ? ?? ??? ?? ??
- ?? ?? ?? ???(?: IGBT, MOSFETS ?)
- ??, ???, ?? IC? ?? ???
?? ?????
?? ??? ¨C RDL ? ?-?? ??
FOWLP ? FC-CSP? ?? ?? ??? ???? ??? ??? ?? ?? ?? ?? ???? ?????. ?? ?? RDL? ?? ??? ??? ??? ????? ??? ?? ??? ???? ? ?? ?? ?????.
- Spherolyte? Cu UF3: ??? ???? ???? RDL ? ?-?? ??? ??? ?? ?????.
- Promobond? AP2: ??? ???? ?? ??????.
?? ??? - ?? ?? ? ???
FOWLP ? FC-CSP? ?? ?? ??? ???? ??? ???? ??? ?? ???? ?????. ??(Pillar)? ????(solderbumps)? ????? ?? ??? ????? ?? ??? ?????? ?????.
- Spherolyte??Cu UF 5: ??? ???, ??? ? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ?????.
- Spherolyte??Ni: ???? ??(Ni) ???? ??? ?? ?? ?????.
- Spherolyte??SnAg: ??(solder) ??????? ?? ?? ???? ???? ?? ? ?????.
- Spherolyte??Sn: ?? ???? ??? ?? ?? ??(depot) ??? ?? ?????.
ENEPIG ?? - ?? ??? ? RDL ???
??? ?? ? ???(soldering)? ?? ???? ?? ??? ?? UBM(Under Bump Metallization)? ??? ??? ????. ??? Xenolyte? ???? ???? ???? ??? ??? ??? ???? ?? ??(stacks)? ???? ?? ?? ??? ??? ? ????. ??? IC ??? ???? ????? ??? ?? ?? ??? ??? ?????.
- Xenolyte??Ni: ?? ???(low- to mid Pd) ? ?? ??? ??(Ni) ?? ??
- Xenolyte??Pd: ???? ???? ?? ??? ??? ?? ??
- Xenolyte??Au: ????? ??? ? ????? ??? ??? ???? ?(Au) ??
??, ???, ?? IC? ?? ??? ???
??? ?????(interconnect) ??? ?? ??? BEOL ??????? ??? ?? ?? ???? ???? ?? ? ??? ????? ??? ?? ??????(pre-plate) ???? ??? ?? ??? ? ?? ?? ??? ????? ?? ??? ?????.
Everplate? 2XT: ?? ??? ??(Cu) ?? ??? ??? ? ?? ??? ??? ???
?? ?? ?? ???(?: IGBT, MOSFETS ?)
?? IGBT ? ?? MOSFET? ??? ??? ???? ?????. ? ?? ??? ??? ????? ???? ?? ??? ??? ?? ? ??? ?? ??? ???? ?? ??? ????. ?? ???? ??(dies)? ??(embeded)?? ? ??? ?? ???? ?? ??? ??? ?? ????. ??? ??? ??? ?? ? ???? ??? ?? ???? ?????.
MultiPlate? + Spherolyte??MD2: ?? ?? ??? ? ?? ?? ??(Cu) ????? ?? ???? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ?????.
?? ??
ÌÇÐĶ¯Âþvlog ???? ??? ?? ???
???? ?? ??? ? ?? ??? ??????? ?? ?? ??? ???? ?????.
? ??? ??? ??? ??? ??? ??? ??? ??? ? ??? ???? ???? Spherolyte??? Xenolyte???? ???? ?? ? ?? ??? ??? ? ????.
??? ?? ??
??? ??? ??
???? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ??? ?????. ?? ??? ??? ??? 1,500m? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ?? ??? ??? ?? ??? ??? ?? ????? ???? ?????? ??? ? ?? ??? ?????.
¡°???? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ????? ????? ?????. ?? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ??? ???? ???.”
Dr. Christian Ohde
Global Product Director Semiconductor Advanced Packaging ÌÇÐĶ¯Âþvlog at Atotech Germany
